带你了解三氯氢硅合成尾气用什么办法处理有效
上篇文章我们有提到过,有机硅合成会产生尾气,在尾气中含有一氯甲烷,今天我们来讲一下三氯氢硅合成尾气中的尾气用什么办法来处理较为有效。
在该套三氯氢硅合成尾气的处理方案中,我们采用的方法是干法回收,主要是将冷凝后的三氯氢硅合成尾气送入缓冲罐,保持缓冲罐的压力,吸附系统并联的两台吸附塔构成,一台吸附塔中的吸附剂处于吸附状态,另一个吸附塔的吸附剂处理再生状态,分别有各自的进出口控制阀。
具体废气处理设备的运行系统不做详细解释。请咨询我公司技术人员。
在采购相关废气处理设备的时候,请详细了解后再做决定。
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