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半导体企业酸气净化方案-酸性气体净化工艺
来源: | 发布时间:2022-10-11 17:16:34 | 浏览次数:

 半导体企业酸气净化方案-酸性气体净化工艺

  
  半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。

  常见的有四氯化碳、苯类、三氯乙烯、酸类、环己酮、丙酮、铅等,此外还存在噪声、金属粉尘、高频、电离辐射等有害因素。

  处理酸性气体采用酸雾处理塔,又可称为酸雾净化塔,酸雾净化器,酸雾洗涤塔,酸雾净化设备,酸雾废气处理塔等。

  酸碱喷淋塔的结构组成

  酸碱废气处理塔分单塔体和双塔体。采用了圆形塔体,用法兰分阶段相连接而成。具体的由贮液箱、塔体、进风段、喷淋层、填料层、旋流除雾层、出风锥帽、观检孔等组成。

  有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。

  对于含有酸性/碱性物质的废气,半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送z中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积,造成管道堵塞后导致气体外泄,严重者甚z引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。

  酸碱废气处理工艺流程

  酸碱废气处理具体的工艺流程:除去的酸雾烟气→进入到风管→历经酸碱喷淋塔净化处理处理→风机→风管→达标排放

酸碱性废气

  工艺流程: 酸/碱性废气→酸/碱式洗涤塔→离心风机→烟囱(达标排放)

  酸碱废气经过收集管道集中收集后按照各自的系统进入相应的化学洗涤塔进行喷淋处理,格林斯达自主研发设计的化学洗涤塔通过内部的喷淋系统、循环水系统、填料过滤系统、除雾系统、自动加药系统、自动补排水等系统对进入化学洗涤塔的废气进行化学吸收、除雾,保z处理后的废气达标排放。
 
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