半导体酸碱气体处理工程安装，半导体酸气净化方法

　　半导体酸性废气来源：

　　半导体产业中的酸性废气主要来源于清洗工序，其中使用的清洗剂溶剂中含有大量酸性废气，主要成分为硝酸，硫酸，氢氟酸等，在工艺过程中，这些大部分通过挥发成为废气排放。

　　半导体酸性废气处理方法：

　　碱液体二级喷淋法，又称化学洗涤法。

　　因液体自身具有的溶解特性，可以更好地利用酸碱中和去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

　　半导体酸性废气处理工作原理：

　　通过设备直接连接将废气收集起来，在风机的作用下将废气源源不断向净化设备输送，再经过通风管道的输送作用，使废气输送到系统的喷淋塔内，气体在喷淋塔塔内经过碱性洗液的喷淋洗涤过程，废气中所含有的容易产生酸雾的气体成份充分与碱性水雾接触混合并且发生中和反应，并且形成较好的气液两相交和。经过喷淋后的水雾再在洗涤塔内的填料层内形成一个多孔接触面较大的处理层，从而进一步对酸雾进行治理。

　　半导体酸性废气净化塔优点：

　　⑴半导体酸性废气处理设备工艺简单，造价低，运行费用少，安装方便，耐腐蚀；

　　⑵性能稳定，除尘效率高，脱硫效果好；

　　⑶重量轻，便于安装、运输及维修管理；

　　⑷特别适应水溶性含尘气体；

　　半导体行业有机废气处理，目前一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。吸附是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，使其中所含的一种或多种组分吸附在固体表面，达到分离的目的。吸附剂选择性高，能分开其它过程难以分开的混合物，有效地清除或回收浓度很低的有害物质，净化效率高，设备简单，操作方便，且能实现自动控制。

　　半导体行业有机废气处理，目前国内一些大型半导体企业已采用沸石转轮吸附浓缩后燃烧，该方法适用于大风量、低浓度、常温的有机废气处理，净化效率达到90％以上，浓缩比达20﹕

　　运行费用较低，设备处理风量大，占地面积小，不产生二次污染，可持续脱附并处理污染物。

　　根据企业实际运行情况，有机废气进气浓度在200mg/m3以上时，处理效率达到95%；200mg/m3以下时处理 后浓度控制在20mg/m3，可保证废气达标排放。

　　VOCs排放浓度符合当地的排放标准，在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题，性价比更高，且无二次污染。