江苏半导体行业废气回收系统安装

关键词：废气回收，半导体废气回收，废气回收系统

  半导体行业的废气如可回收的？半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。 在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

  在该半导体行业的废气回收工程中，我们针对不同的VOCs废气，开发出有选择性、针对性处理的ACF；采用的吸附VOCs容量大，是常规吸附材料的2倍；

  半导体废气回收设备优点：

  回收单吨溶剂运行能耗低。

  采用高效的吸附材料；

  处理效率高，吸附效率可达99%以上；

  达标排放，减少污染源排放；

  可实现溶剂原料的循环利用；

  吸附材料可根据溶剂不同个性化定制生产。

  一些半导体生产厂也使用旋转浓缩系统富集有机废气，如沸石浓缩转轮。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小时）和浓度低（通常小于 25ppmv） 的特点，使用其它的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮使用内带吸收物质的旋转轮，其中的吸收物质部分曝露于废气流中。

  转轮吸收废气中的挥发性污染物，并使用蒸汽或热将其脱附。脱附的气流中富集了较高浓度的挥发物，这种低流量、高浓度的气流能很好地被氧化。

  旋转浓缩系统用于半导体行业的一个缺点是它对甲醇亲和力较差，去除率仅为 40-60％。

  半导体废气回收设备工艺

  吸附：含VOCs的废气穿过吸附剂床层，VOCs被吸附在吸附剂的微孔结构中，干净的气体则排入大气。

  脱附：吸附剂吸附饱和后，失去吸附性能，需要对其脱附再生，主要利用热源将吸附质气化，然后被载体携带出。

吹扫：吸附质在加热气化过程中，吸附剂也相应的被加热，低温有利于吸附的进行，因此需要降低吸附剂的温度。