半导体行业废气回收处理用焚烧法可行吗

  关键词：废气回收，废气焚烧，

  半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，造成大部分废气的产生，要如何解决车间废气回收处理问题呢？  

  其实废气回收有很多种方法，今天针对半导体行业的废气回收处理，我们来解释下焚浇法的可行性。

  其他的半导体废气回收处理方法：

  一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。

  焚烧的方法也广泛用于半导体行业的各种有机废气处理，通过热氧化将有机物转化为 CO2 和水。同时，焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。

  一些半导体生产厂也使用旋转浓缩系统富集有机废气，如沸石浓缩转轮。