沈阳半导体工厂净化车间废气方案

  关键词：净化车间废气，半导体废气净化

  半导体在生产过程中产生的废气需要处理，但是他们对废气处理设备和废气处理工程的专业性要求都非常的严格，经过多方比较，静电冷凝分离器采用相同的原理，可以拦截和清除废气流中的挥发性有机化合物（VOC）。

  半导体行业使用了全氟化碳，它具有极高的全球暖化潜势，因此需要进行高效的废气处理。将不同的气体结合并输送到工厂的中央废气系统中，可能会产生具有高易燃性与高爆炸性的气态混合物，有时，这在过去会导致整个生产设施的完全报废。在气体内包含的颗粒物还可能会造成排气装置堵塞。

  为了消除这些风险，需要在立即减少有害废气的“使用点”（POU）对工艺过程废气进行处理。可以由燃烧/水洗系统、气体洗涤器和静电过滤器成功做到这一点。